Ibabahagi sa iyo ng technical consultant ng RSM ang mga pakinabang ng cylindrical at planar magnetron sputtering target?Kung ikukumpara sa iba pang mga target ng magnetron sputtering, ang cylindrical at planar magnetron sputtering target ay nagpapanatili ng mga pakinabang ng mahusay na pagkakapareho ng coating ng mga rectangular planar target, at maaaring mapakinabangan ang paggamit ng mga target sa pamamagitan ng sumusunod na dalawang paraan:
(1) Kapag ang dalawang grupo (apat) ng annular pits sa ibabaw ng target ay umabot sa isang tiyak na lalim, ang target na core (magnet na bahagi) ay maaaring paikutin ng 45 ° na may kaugnayan sa target na tubo, upang ang iba pang mga lugar sa target na tubo na hindi pa nabubulok ay maaaring gamitin;
(2) Kapag ang target core ng cylindrical at planar magnetron sputtering target ay idinisenyo bilang umiikot na target core (ang target core ay umiikot sa panahon ng sputtering), ang ibabaw ng target ay maaaring pantay-pantay na sputtered off layer by layer na walang mga hukay.Sa oras na ito, ang target ay gagamitin nang pinakamabisa, at ang utilization rate ng target ay maaaring umabot sa 50% ~ 60% Kapag ang target na materyal ay mahalagang metal, ito ay malinaw na may malaking kahalagahan.
Sa pamamagitan ng paggamit ng prinsipyo ng magnet na may pole shoe sa coaxial cylindrical magnetron sputtering target upang malutas ang problema ng end magnetic field, ang rectangular plane target ay maaaring mabago sa isang cylindrical at planar magnetron sputtering target, Maaaring i-maximize ng target ang rate ng paggamit ng target habang pinapanatili ang mahusay na pagkakapareho ng patong ng target na hugis-parihaba na eroplano Upang mapabuti ang mga benepisyong pang-ekonomiya.
Oras ng post: Hul-04-2022