Upang masuportahan ang film based na piezoelectric MEMS (pMEMS) sensor at radio frequency (RF) na mga bahagi ng filter na industriya, ang aluminum scandium alloy na ginawa ng Rich Special Material Co., Ltd. ay espesyal na ginagamit para sa reactive deposition ng scandium doped aluminum nitride films .
Ang manipis na film na piezoelectric na materyales ay lalong ginagamit sa automotive, pang-industriya at personal na elektronikong kagamitan.Kasama sa mga application ang pmt based fingerprint sensors at gesture recognition device, MEMS microphones, resonator based chemical sensors at medical sensors.Bilang karagdagan, ang mga scandium doped aluminum nitride films ay lalong kailangan para magkaroon ng RF filters para sa 5G network applications.Kasabay nito, ang dami ng aluminyo scandium alloy ay tumataas.
Mga Katangian ng Al Sc Alloy
Lubos na pare-pareho ang homogeneity ng kemikal sa kabuuan ng haluang metal
Highly consistent film chemical homogeneity sa buong buhay ng chip at alloy
Purity>99.9%, mababang nilalaman ng oxygen, mababang nilalamang kritikal na pollutant
Mahigpit na kontrolin ang microstructure upang makamit ang pinakamahusay na pagganap ng sputtering
Vacuum cast, ganap na siksik na haluang metal na may mababang pagdirikit, mababang pagkakaiba-iba at mababang granularity
Sinusuportahan ng Rich Special Material Co., Ltd. ang iba't ibang alloy smelting, pag-customize ng target at mga serbisyo sa R&D.
Oras ng post: Nob-11-2022