Mga Dahilan ng Sputtering Target Cracking at Countermeasures

Ang mga bitak sa mga sputtering target ay kadalasang nangyayari sa mga ceramic sputtering target tulad ng mga oxide, carbides, nitride, at brittle na materyales gaya ng chromium, antimony, bismuth.Ngayon hayaan ang mga teknikal na eksperto ng RSM na ipaliwanag kung bakit ang sputtering target crack at kung anong mga hakbang sa pag-iwas ang maaaring gawin upang maiwasan ang sitwasyong ito.

Ang mga ceramic o malutong na materyal na target ay palaging naglalaman ng mga likas na stress.Ang mga panloob na stress na ito ay nabuo sa target na proseso ng pagmamanupaktura.Bilang karagdagan, ang mga stress na ito ay hindi ganap na inalis ng proseso ng pagsusubo, dahil ang mga ito ay likas na katangian ng mga materyales na ito.Sa proseso ng sputtering, ang pambobomba ng mga gas ions ay naglilipat ng kanilang momentum sa mga target na atom, na nagbibigay sa kanila ng sapat na enerhiya upang paghiwalayin ang mga ito mula sa sala-sala.Ang exothermic momentum transfer na ito ay gumagawa ng target na pagtaas ng temperatura, na maaaring umabot sa 1000000 ℃ sa atomic level.

Ang mga thermal shock na ito ay nagpapataas ng umiiral na panloob na diin sa target sa maraming beses.Sa kasong ito, kung ang init ay hindi maayos na nawala, ang target ay maaaring masira.Upang maiwasan ang pag-crack ng target, dapat bigyang-diin ang pagwawaldas ng init.Ang isang mekanismo ng paglamig ng tubig ay kinakailangan upang alisin ang hindi ginustong enerhiya ng init mula sa target.Isa pang isyu na dapat isaalang-alang ay ang pagtaas ng kapangyarihan.Ang sobrang lakas na inilapat sa maikling panahon ay magdudulot din ng thermal shock sa target.Bilang karagdagan, iminumungkahi namin na itali ang mga target na ito sa backplane, na hindi lamang makakapagbigay ng suporta para sa target, ngunit nagsusulong din ng mas mahusay na pagpapalitan ng init sa pagitan ng target at tubig.Kung ang target ay may mga bitak ngunit nakatali sa likod na plato, maaari pa rin itong gamitin.

Ang Rich Special Materials Co., Ltd. ay maaaring magbigay ng mga sputtering target na may backplane.Maaari itong ipasadya ayon sa mga pangangailangan ng mga customer ng materyal, kapal at uri ng pagbubuklod.