Ang layunin ng paglilinis ng target ay alisin ang posibleng alikabok o dumi sa ibabaw ng target.Ngayon, ibabahagi sa iyo ng editor ng Rich Special Material Co., LTD.(RSM) ang tungkol sa apat na hakbang sa paglilinis ng mga metal na target:
Ang unang hakbang ay upang linisin gamit ang isang lint free soft cloth na babad sa acetone;
Ang ikalawang hakbang ay katulad ng unang hakbang, paglilinis gamit ang alkohol;
Hakbang 3: linisin gamit ang deionized na tubig.Pagkatapos hugasan ng deionized na tubig, ang target ay inilalagay sa isang oven at tuyo sa 100 ℃ sa loob ng 30 minuto.Ang mga oxide at ceramic target ay dapat linisin gamit ang "lint free cloth".
Ang ika-apat na hakbang ay hugasan ang target gamit ang argon na may mataas na presyon at mababang tubig na gas upang alisin ang lahat ng mga particle ng karumihan na maaaring bumuo ng isang arko sa sputtering system.
Tandaan: kapag hinahawakan ang target, mangyaring magsuot ng malinis at walang lint na guwantes sa pagpapanatili upang ganap na maiwasan ang direktang pakikipag-ugnay sa target sa pamamagitan ng kamay.
Oras ng post: Hun-24-2022