Kaalaman sa pagpapanatili ng sputtering target

Maraming mga kaibigan tungkol sa pagpapanatili ng target mayroong higit pa o mas kaunting mga katanungan, kamakailan ay mayroon ding maraming mga customer na kumunsulta tungkol sa pagpapanatili ng mga target na nauugnay na mga problema, hayaan ang editor ng RSM para sa amin upang ibahagi ang tungkol sa sputtering target na kaalaman sa pagpapanatili .

　　Paano dapat panatilihin ang mga target ng sputter?

　　1, Target na pagpapanatili

Para maiwasan ang short circuit at arcing na dulot ng hindi malinis na cavity sa proseso ng sputtering, kinakailangan na pana-panahong alisin ang mga sputter na naipon sa gitna at magkabilang gilid ng sputtering track, na tumutulong din sa mga user na patuloy na mag-sputter sa high power density.

　　2, Target na imbakan

Inirerekomenda namin na iimbak ng mga user ang target (metal man o ceramic) sa vacuum packaging, lalo na ang fitting target ay dapat na nakaimbak sa vacuum upang maiwasan ang oxidation ng fitting layer na makaapekto sa kalidad ng fitting.Tulad ng para sa pag-iimpake ng mga target na metal, iminumungkahi namin na dapat silang nakaimpake sa malinis na mga plastic bag man lang.

　　3, target na paglilinis

Ang unang hakbang ay upang linisin gamit ang isang lint free soft cloth na babad sa acetone;

Ang ikalawang hakbang ay katulad ng unang hakbang, paglilinis gamit ang alkohol;

Hakbang 3: linisin gamit ang deionized na tubig.Pagkatapos linisin gamit ang deionized na tubig, ang target ay inilalagay sa oven at tuyo sa 100 ℃ sa loob ng 30 minuto.Iminumungkahi na gumamit ng "lint free cloth" upang linisin ang mga target ng oxide at ceramic.

Ang ika-apat na hakbang ay ang paghuhugas ng target gamit ang argon na may mataas na presyon at mababang kahalumigmigan upang alisin ang anumang hindi malinis na mga particle na maaaring magdulot ng arko sa sputtering system.

　　4、 Suriin ang short circuit at tightness

Matapos mai-install ang target, ang buong katod ay kailangang suriin para sa maikling circuit at higpit.Inirerekomenda na hatulan kung mayroong isang maikling circuit sa katod sa pamamagitan ng paggamit ng isang meter ng paglaban at isang megger.Matapos makumpirma na walang short circuit sa cathode, maaaring isagawa ang inspeksyon ng pagtagas ng tubig, at maaaring ipasok ang tubig sa katod upang matukoy kung mayroong pagtagas ng tubig.

　　5, Packaging at transportasyon

Ang lahat ng mga target ay naka-pack sa vacuum sealed plastic bag na may moisture-proof agent.Ang panlabas na pakete ay karaniwang kahoy na kahon na may anti-collision layer sa paligid upang protektahan ang target at backplane mula sa pinsala sa panahon ng transportasyon at imbakan.