Dahil sa mataas na temperatura na katatagan, mataas na electron migration resistance at mataas na electron emission coefficient ng refractory tungsten at tungsten alloys, high-purity tungsten at tungsten alloy na mga target ay pangunahing ginagamit para sa pagmamanupaktura ng mga electrodes ng gate, connection wiring, diffusion barrier layers, atbp. ng semiconductor integrated circuit, at may mataas na mga kinakailangan para sa kadalisayan, nilalaman ng elemento ng karumihan, density, laki ng butil at pagkakapareho ng istraktura ng butil ng mga materyales.Ngayon tingnan natin ang mga salik na nakakaapekto sa paghahanda ng high-purity tungsten target.
1, Epekto ng temperatura ng sintering
Ang proseso ng pagbuo ng tungsten target na embryo ay karaniwang ginagawa sa pamamagitan ng malamig na pagpindot sa isostatic.Ang butil ng tungsten ay lalago sa panahon ng proseso ng sintering.Ang paglaki ng butil ng tungsten ay pupunuin ang puwang sa pagitan ng mga hangganan ng butil, kaya pagpapabuti ng density ng target na tungsten.Sa pagtaas ng mga oras ng sintering, ang pagtaas ng tungsten target density ay unti-unting bumabagal.Ang pangunahing dahilan ay na pagkatapos ng maraming sintering, ang kalidad ng target na tungsten ay hindi nagbago nang malaki.Dahil ang karamihan sa mga voids sa hangganan ng butil ay puno ng mga kristal na tungsten, pagkatapos ng bawat sintering, ang kabuuang rate ng pagbabago ng laki ng target na tungsten ay napakaliit, na nagreresulta sa limitadong espasyo para sa pagtaas ng density ng target na tungsten.Sa proseso ng sintering, ang mga lumaki na butil ng tungsten ay napupuno sa mga voids, na nagreresulta sa isang mas mataas na density ng target na may mas maliit na laki ng butil.
2, Epekto ng oras ng paghawak
Sa parehong temperatura ng sintering, ang compactness ng tungsten target ay mapapabuti sa pagpapahaba ng sintering holding time.Sa pagpapahaba ng oras ng paghawak, ang laki ng butil ng tungsten ay tataas, at sa pagpapahaba ng oras ng paghawak, ang mga oras ng paglago ng laki ng butil ay unti-unting bumagal, na nangangahulugan na ang pagtaas ng oras ng paghawak ay maaari ring mapabuti ang pagganap ng target ng tungsten.
3、 Epekto ng rolling sa mga target na katangian
Upang mapabuti ang density ng tungsten target na materyal at makuha ang pagproseso ng istraktura ng tungsten target na materyal, ang medium na temperatura na rolling ng tungsten target na materyal ay dapat isagawa sa ibaba ng temperatura ng recrystallization.Kung ang rolling temperature ng target billet ay mataas, ang fiber structure ng target billet ay magiging coarse, at vice versa.Kapag ang mainit na rolling rate ay umabot sa higit sa 95%.Kahit na ang pagkakaiba sa istraktura ng hibla na dulot ng iba't ibang mga orihinal na butil o iba't ibang mga rolling na temperatura ay aalisin, ang panloob na istraktura ng target ay bubuo ng isang medyo pare-parehong istraktura ng hibla, kaya't mas mataas ang pagproseso ng rate ng mainit na rolling, mas mahusay ang pagganap ng target
Oras ng post: Peb-15-2023