Ang Titanium aluminum alloy ay isang haluang metal na sputtering target para sa vacuum deposition.Ang mga target ng Titanium aluminum alloy na may iba't ibang katangian ay maaaring makuha sa pamamagitan ng pagsasaayos ng nilalaman ng titanium at aluminyo sa haluang ito.Ang mga titanium aluminum intermetallic compound ay matigas at malutong na materyales na may magandang resistensya sa pagsusuot.Ang mga ito ay pinahiran ng isang layer ng titanium aluminum intermetallic compound sa ibabaw ng ordinaryong mga tool sa pagputol, na maaaring epektibong pahabain ang buhay ng serbisyo ng mga tool.Kung ang sputtering ay isinasagawa sa simula ng nitrogen discharge arc, ang isang mataas na tigas at mababang friction coefficient na pang-ibabaw na mask ng mukha ay maaaring makuha, na kung saan ay lalong angkop para sa ibabaw na patong ng iba't ibang mga tool, molds at iba pang mga masusugatan na bahagi.Samakatuwid, mayroon itong magandang pag-asam ng aplikasyon sa industriya ng machining.
Ang paghahanda ng mga target ng titanium aluminum alloy ay medyo mahirap.Ayon sa phase diagram ng titanium aluminum alloy, ang iba't ibang intermetallic compound ay maaaring mabuo sa pagitan ng titanium at aluminum, na humahantong sa pagproseso ng brittleness sa titanium aluminum alloy.Lalo na kapag ang nilalaman ng aluminyo sa haluang metal ay lumampas sa 50% (atomic ratio), ang paglaban sa oksihenasyon ng haluang metal ay biglang bumababa at ang oksihenasyon ay malala.Kasabay nito, ang exothermic expansion sa panahon ng proseso ng alloying ay madaling makabuo ng mga bula, pag-urong ng mga pores, at porosity, na nagreresulta sa mataas na porosity ng haluang metal at kawalan ng kakayahan upang matugunan ang mga kinakailangan sa density ng target na materyal.Mayroong dalawang pangunahing pamamaraan para sa paghahanda ng mga haluang metal ng titanium:
1, Malakas na kasalukuyang paraan ng pag-init
Ang pamamaraang ito ay gumagamit ng isang aparato na maaaring makakuha ng mataas na kasalukuyang, na nagpapainit ng titanium powder at aluminum powder, naglalapat ng presyon, at nagiging sanhi ng pag-react ng aluminyo at titanium upang bumuo ng mga target ng titanium aluminum alloy.Ang density ng titanium aluminum alloy target na produkto na inihanda ng pamamaraang ito ay> 99%, at ang laki ng butil ay ≤ 100 μm.Kadalisayan>99%.Ang hanay ng komposisyon ng titanium aluminum alloy target na materyal ay: titan na nilalaman ng 5% hanggang 75% (atomic ratio), at ang natitira ay aluminyo na nilalaman.Ang pamamaraang ito ay may mababang gastos at mataas na densidad ng produkto, at maaaring ganap na matugunan ang mga pangangailangan ng malakihang pang-industriyang produksyon.
2、 Paraan ng hot isostatic pressing sintering
Ang pamamaraang ito ay naghahalo ng titanium powder at aluminum powder, pagkatapos ay sumasailalim sa powder loading, cold isostatic pressing pre pressing, degassing process, at pagkatapos ay hot isostatic pressing forming.Sa wakas, ang sintering at pagproseso ay isinasagawa upang makakuha ng mga target ng titanium aluminum alloy.Ang titanium aluminum alloy target na inihanda ng pamamaraang ito ay may mga katangian ng mataas na density, walang pores, walang porosity at segregation, pare-parehong komposisyon, at pinong butil.Ang paraan ng hot isostatic pressing ay kasalukuyang pangunahing paraan para sa paghahanda ng mga target na sputtering ng titanium aluminum alloy na kinakailangan ng industriya ng coating.
Oras ng post: Mayo-10-2023