Mga Uri ng Magnetron Sputtering Target

Sa pagtaas ng demand sa merkado, parami nang parami ang mga uri ng sputtering target na patuloy na ina-update.Ang ilan ay pamilyar at ang ilan ay hindi pamilyar sa mga customer.Ngayon, gusto naming ibahagi sa iyo kung ano ang mga uri ng magnetron sputtering target.

Ang target na sputtering ay may mga sumusunod na uri: target na patong na patong ng metal, target ng patong na patong ng haluang metal, target ng patong na patong ng ceramic, target ng patong na ceramic ng boride, target ng pag-sputter ng ceramic ng carbide, target ng pag-sputtering ng fluoride na ceramic, target ng pag-sputtering ng nitride na ceramic, target ng selenide na ceramic. , silicide ceramic sputtering target, sulfide ceramic sputtering target, telluride ceramic sputtering target, iba pang ceramic target, Chromium doped silicon oxide ceramic target (CR SiO), indium phosphide target (INP), lead arsenide target (pbas), indium arsenide target (InAs ).

Ang magnetron sputtering ay karaniwang nahahati sa dalawang uri: DC sputtering at RF sputtering.Ang prinsipyo ng DC sputtering equipment ay simple, at ang rate nito ay mabilis din kapag nag-sputtering ng metal.Ang RF sputtering ay malawakang ginagamit.Bilang karagdagan sa pag-sputter ng conductive data, maaari din itong mag-sputter ng non-conductive na data.Kasabay nito, ang target na sputtering ay nagsasagawa rin ng reaktibong sputtering upang maghanda ng data ng tambalan tulad ng mga oxide, nitride at carbide.Kung tataas ang RF frequency, ito ay magiging microwave plasma sputtering.Sa kasalukuyan, ang electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma sputtering ay karaniwang ginagamit.