Sa kasalukuyan, sa mga pangunahing tagagawa ng target na spattering sa mundo, mayroong dalawang magkakaibang pamamaraan para sa paggawa ng target na spattering ng aluminyo haluang metal.Ang isa ay ang piliin ang paraan ng paghahagis upang makagawa ng ingot, at pagkatapos ay gawin ang proseso ng paghahagis.Ang isa ay ginawa sa pamamagitan ng spray molding. Hayaan ang editor ng Beijing na gumawa para sa iyo na ibahagi, tungkol sa proseso ng pagmamanupaktura ng titanium aluminum alloy target kung ano ang sentido komun .
Sa abot ng kilalang mga paraan ng paghahagis / paghahagis ay nababahala, kapag gumagawa ng aluminyo haluang metal sputtering target, ang aluminyo haluang metal sputtering target ay madalas na napapailalim sa paghihiwalay dahil sa pagdaragdag ng mga elemento ng haluang metal, na nagreresulta sa mahinang kalidad ng sputtered film, at mga micro particle ay madaling mangyari sa ibabaw ng sputtering target, na makakaapekto rin sa pagkakapareho ng mga katangian ng pelikula;Gayunpaman, kung ang kilalang spray forming method ay ginagamit sa paggawa ng aluminum alloy sputtering target, bagama't ang mga nabanggit na kaugnay na depekto ay maaaring maiiwasan, ang gastos sa pagmamanupaktura ng sputtering target ay lubos na mapapabuti, lalo na kapag gumagawa ng ilang sputtering target na hindi madaling i-cast at dapat na hot pressed, ang gastos ay mapapabuti sa pamamagitan ng paggamit ng hot pressing.
Upang gawing mas madali at mas mababang gastos ang proseso ng pagmamanupaktura ng titanium aluminum alloy target, isang paraan ng paggawa ng aluminum alloy sputtering target na may air spray powder ay ipinakilala dito.Ang prinsipyo nito ay tumutukoy na ang isang materyal na pulbos ng sputtering target ay ginawa sa pamamagitan ng air spray method ayon sa ratio ng komposisyon ng haluang metal, at pagkatapos ay ang haluang metal na pulbos ay sinusuri upang makuha ang naaangkop na laki ng butil ng pulbos.Sa wakas, ang pulbos ay mainit na pinindot sa vacuum upang gawing target ang pag-sputtering ng aluminyo haluang metal.
Ang pamamaraang ito ng pagmamanupaktura ng mga target na splash ng aluminyo haluang metal na may air spray powder ay maaaring gamitin para sa paggawa ng iba't ibang mga target na splash ng aluminyo haluang metal (aluminum chromium, aluminum silicon copper, aluminum titanium, atbp.).Ang ginustong mga hakbang sa pagpapatupad ay: pagbibigay ng mga metal na materyales para sa pagmamanupaktura ng mga target na splash ng haluang metal na aluminyo at pagtunaw ng mga ito sa pagkatunaw ng metal;Sa wakas, ang metal na pulbos ay nabuo sa pamamagitan ng vacuum hot pressing upang gawing target ang aluminyo haluang metal na sputtering, at ang inert gas ay ipinakilala bilang maintenance gas.Ang pamamaraang ito ay maaaring maiwasan ang data segregation at micro particle defects, at makagawa ng mataas na kalidad na mga sputtering target nang mas mabilis at mura.
Oras ng post: Hun-01-2022