Ang vacuum plating sa pagpili ng mga sputtering target na materyales ay naging isyu para sa mga tao, sa kasalukuyan, dahil ang sputtering coating, lalo na ang pagbuo ng magnetron sputtering coating na mga kasanayan, ay masasabi para sa anumang impormasyon na ma-target ang materyal na paghahanda ng mga manipis na pelikula sa pamamagitan ng ion bombardment, dahil sa pamamagitan ng sputtering target na materyal sa proseso ng patong sa uri ng substrate, ay may mahalagang epekto sa kalidad ng sputtering film, Samakatuwid, ang target na materyal na kinakailangan ay mas mahigpit.Dito natin malalaman ang tungkol sa papel ng sputtering target sa vacuum coating kasama ng The editor ng Beijing Relaxation
一、Prinsipyo ng pagpili at pag-uuri ng target na materyal
Sa pagpili ng target na materyal, bilang karagdagan sa paggamit ng pelikula mismo ay dapat piliin, ang mga sumusunod na problema ay dapat ding isaalang-alang:
Problema 1. Ayon sa mga kinakailangan sa paggamit at pagganap ng lamad, kinakailangan para sa target na materyal na matugunan ang mga teknikal na kinakailangan ng kadalisayan, nilalaman ng magazine, pagkakapareho ng bahagi, katumpakan ng machining at iba pa.
Problema 2. Ang target na materyal ay dapat magkaroon ng magandang mekanikal na lakas at kemikal na katatagan pagkatapos mabuo ang pelikula;
Problema 3. Kinakailangan para sa materyal ng pelikula na madaling makabuo ng tambalang pelikula na may reaksyong gas bilang reaktibong sputtering film;
Problema 4. Kinakailangang itakda ang target at ang matrix upang maging malakas, kung hindi, ang materyal ng pelikula na may mahusay na pagdirikit sa matrix ay dapat na pinagtibay, unang mag-sputter ng isang layer ng ilalim na pelikula at pagkatapos ay ihanda ang kinakailangang layer ng pelikula;
Tanong 5. Sa saligan ng pagtugon sa mga kinakailangan sa pagganap ng pelikula, mas maliit ang pagkakaiba sa pagitan ng thermal expansion coefficient ng target at ng matrix, mas mabuti, upang mabawasan ang impluwensya ng thermal stress ng sputtering film;
Paghahanda ng ilang karaniwang ginagamit na mga target
(1) cr target
Ang Chromium bilang isang sputtering film na materyal ay hindi lamang madaling pagsamahin sa base na materyal ay may mataas na pagdirikit, at chromium at oxide CrQ3 film, ang mga mekanikal na katangian nito, acid resistance at thermal stability ay mas mahusay.
Pangunahing nakikibahagi ang Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. sa: target na titanium na zirconium target, target na aluminyo, target na nickel, target ng chromium, target na tungsten, target na molibdenum, target na tanso, target na silikon, target ng niobium, target na tantalum, haluang metal ng titanium-silicon target, titanium-niobium alloy target, titanium-tungsten alloy target, titanium-zirconium alloy target, nickel-chromium alloy target, silica-aluminum alloy target, nickel-vanadium alloy target, chromium-aluminum-silicon ternary alloy target，Ti al si ternary alloy na target na materyal, malawakang ginagamit sa dekorasyon/matigas na ibabaw at functional coating, architectural glass, flat display/optical photoelectric, optical storage, electronics, printing at iba pang propesyon.
Oras ng post: Hun-02-2022