Ano ang kaalaman tungkol sa imbakan at pagpapanatili ng target ng haluang metal

Ang target ay nakaimpake sa isang double vacuum na plastic bag.Iminungkahi namin na ang mga user ay mag-imbak ng target, metal man o ceramic, sa vacuum packaging, lalo na ang bonding target ay kailangang itago sa vacuum upang maiwasan ang bonding layer oxidation na makakaapekto sa bonding quality. minimum na kinakailangan ay upang i-pack ang mga ito sa malinis na plastic bag.May-akda sa ibaba ng Beijing Richmat upang ibahagi sa iyo ang tungkol sa kung ano ang mga kasanayan sa pag-iimbak at pagpapanatili ng target ng haluang metal

Ang mga kasanayan sa pagpapanatili tungkol sa target ng haluang metal ay ang mga sumusunod:

Upang maiwasan ang short circuit at arc dahil sa hindi malinis na cavity sa proseso ng sputtering, kinakailangang alisin ang sputtering track center at magkabilang panig ng accumulation ng sputtering, na tumutulong din sa mga user na magpatuloy sa maximum power density ng sputtering.

Hakbang 1: Linisin gamit ang isang fleece free na tela na binasa sa acetone;

Hakbang 2: Linisin gamit ang alkohol na katulad ng hakbang 1;

Hakbang 3: Hugasan gamit ang deionized na tubig.Pagkatapos ng paglilinis gamit ang deionized na tubig, ang target ay inilalagay sa isang oven upang matuyo sa 100 degrees Celsius sa loob ng 30 minuto.Ang mga oxide at ceramic na target ay nililinis gamit ang “flannelless cloth”.

Hakbang 4: pagkatapos alisin ang maalikabok na bahagi, argon na may mataas na presyon at mababang moisture gas ay ginagamit upang i-flush ang target upang alisin ang lahat ng mga particle ng impurity na maaaring bumuo ng mga arko sa sputtering system.